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仪器名称 |
单位名称 |
技术指标 |
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半导体参数测试系统 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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1. 普通IV 测量 0.1 fA~100 mA; 1μV~200 V, 4 SMU Unit)2. 普通CV测量 3. 四点探针测量 4. Hall 效应测量5. 高电阻测量功能 6. 脉冲 IV 测量 7. 脉冲CV |
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快速退火炉 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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1. 温度范围：150~1300℃2. 最大升温速率： 200℃/s 3. 样品最大尺寸：4英寸4. 气氛：真空（0.1Pa）、可编程4路配气系统 |
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热电测量系统 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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可在室温至800℃的范围内，测量材料的电导率和塞贝克系数 |
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扫描探针显微镜(SPM) |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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工作环境：大气，液体
样品要求：起伏度不超过1微米，材质较硬，Φ≤5cm
工作模式：Scanning Tuning Microscopy（扫瞄隧道显微镜），Atomic Force Microscopy(原子力显微镜)；原子力显微镜又分为Contact mode（接触模式），Non-Contact mode（非接触模式），Magnetic Force Microscopy（磁力显微镜），Conductive AFM（导电模式原子力显微镜）Lateral Force Microscopy（侧向力显微镜）
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透射电子显微镜 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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加速电压：200kV
电子枪：热场发射电子源，能量分辨率£0.7eV；
点分辨率：0 .24 nm；
信息分辨率：0 .14 nm；
线分辨率：0 .102 nm；
放大倍数：25～1,030,000倍
STEM高角环形暗场像分辨率：0 .19 nm；
X射线能谱仪的元素分析范围：Be4～U92
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CHNS/O有机元素分析仪 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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测试元素： C、N、H、S、O
分析范围： C：0.001～3.6mg H：0.001～1.0mg N：0.001～6.0mg
S：0.001～2.0mg O：0.001～2.0mg
分析准确度：≤0.3%
分析精度： ≤0.2%
样品量： ≤500mg
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表面张力-接触角仪 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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● 准确度：±0.1°
● 精度：±0.05mN/m
● 重复性：±0.1mN/m
● 接触角测量范围：0~180°
● 表面和界面张力测量范围：0.01~2000mN/m
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台式扫描电镜 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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● 加速电压：15kV
● 放大倍数：30～10000倍
● 电子枪：U型钨灯丝式热电子枪
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电化学工作站 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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电压 ±14.5V (分辨率:100mV；
误差:0.2%±200uV)，
电流 ±2A (分辨率:100pA；
误差:±0.1%量程)，
频率10mHz-32MHz；
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激光陶瓷切割机 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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平均输出功率：300W
激光波长: 1064nm
脉冲宽度: 0.2-20ms
脉冲重复频率: 1-200Hz
聚集光斑直径：≤0.15mm
X-Y轴电动精密工作台：200mm×200mm
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燃料电池测试系统 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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1．最大连续功率（W） 100
2．最高放电电压（V） 20
3．电压测量范围 二个量程(保证高精度测量)：
0.3V～20V（+0.1% F．S）
0.3V～4V（+0.1% F．S）．
4．电流控制范围 二个量程(保证高精度测量)：
0～50A（+0.1% F．S）
0～5A（+0.1% F．S）
5．散热冷却方式 风冷散热
6．放电模式: 恒流,恒压,恒功率,恒阻,线性恒流,
线性恒压,线性恒功率，等差恒流放电，等差恒压放电。
7．SOFC测试: 恒流,恒压,恒功率,恒阻,线性恒流,
线性恒压,线性恒功率。
0～5V,0～40A;
8．独立电压检测
检测数量 8通道
测量范围 0~±2V
测量精度 0. 1%FS
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纳米压痕仪 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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压痕分辨率<0.01nm, 最大压入深度>500µm, 最大载荷500mN 载荷分辨率50nN
最大载荷10N(高量程) 载荷分辨率50nN（高量程）
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