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仪器名称 |
单位名称 |
技术指标 |
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半导体参数测试系统 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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1. 普通IV 测量 0.1 fA~100 mA; 1μV~200 V, 4 SMU Unit)2. 普通CV测量 3. 四点探针测量 4. Hall 效应测量5. 高电阻测量功能 6. 脉冲 IV 测量 7. 脉冲CV |
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快速退火炉 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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1. 温度范围:150~1300℃2. 最大升温速率: 200℃/s 3. 样品最大尺寸:4英寸4. 气氛:真空(0.1Pa)、可编程4路配气系统 |
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热电测量系统 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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可在室温至800℃的范围内,测量材料的电导率和塞贝克系数 |
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扫描探针显微镜(SPM) |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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工作环境:大气,液体
样品要求:起伏度不超过1微米,材质较硬,Φ≤5cm
工作模式:Scanning Tuning Microscopy(扫瞄隧道显微镜),Atomic Force Microscopy(原子力显微镜);原子力显微镜又分为Contact mode(接触模式),Non-Contact mode(非接触模式),Magnetic Force Microscopy(磁力显微镜),Conductive AFM(导电模式原子力显微镜)Lateral Force Microscopy(侧向力显微镜)
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透射电子显微镜 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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加速电压:200kV
电子枪:热场发射电子源,能量分辨率£0.7eV;
点分辨率:0 .24 nm;
信息分辨率:0 .14 nm;
线分辨率:0 .102 nm;
放大倍数:25~1,030,000倍
STEM高角环形暗场像分辨率:0 .19 nm;
X射线能谱仪的元素分析范围:Be4~U92
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CHNS/O有机元素分析仪 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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测试元素: C、N、H、S、O
分析范围: C:0.001~3.6mg H:0.001~1.0mg N:0.001~6.0mg
S:0.001~2.0mg O:0.001~2.0mg
分析准确度:≤0.3%
分析精度: ≤0.2%
样品量: ≤500mg
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表面张力-接触角仪 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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● 准确度:±0.1°
● 精度:±0.05mN/m
● 重复性:±0.1mN/m
● 接触角测量范围:0~180°
● 表面和界面张力测量范围:0.01~2000mN/m
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台式扫描电镜 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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● 加速电压:15kV
● 放大倍数:30~10000倍
● 电子枪:U型钨灯丝式热电子枪
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电化学工作站 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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电压 ±14.5V (分辨率:100mV;
误差:0.2%±200uV),
电流 ±2A (分辨率:100pA;
误差:±0.1%量程),
频率10mHz-32MHz;
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激光陶瓷切割机 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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平均输出功率:300W
激光波长: 1064nm
脉冲宽度: 0.2-20ms
脉冲重复频率: 1-200Hz
聚集光斑直径:≤0.15mm
X-Y轴电动精密工作台:200mm×200mm
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燃料电池测试系统 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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1.最大连续功率(W) 100
2.最高放电电压(V) 20
3.电压测量范围 二个量程(保证高精度测量):
0.3V~20V(+0.1% F.S)
0.3V~4V(+0.1% F.S).
4.电流控制范围 二个量程(保证高精度测量):
0~50A(+0.1% F.S)
0~5A(+0.1% F.S)
5.散热冷却方式 风冷散热
6.放电模式: 恒流,恒压,恒功率,恒阻,线性恒流,
线性恒压,线性恒功率,等差恒流放电,等差恒压放电。
7.SOFC测试: 恒流,恒压,恒功率,恒阻,线性恒流,
线性恒压,线性恒功率。
0~5V,0~40A;
8.独立电压检测
检测数量 8通道
测量范围 0~±2V
测量精度 0. 1%FS
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纳米压痕仪 |
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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压痕分辨率<0.01nm, 最大压入深度>500µm, 最大载荷500mN 载荷分辨率50nN
最大载荷10N(高量程) 载荷分辨率50nN(高量程)
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