主要功能:1. 90min起约,超出后15min计一周期,时间计费单价350元/小时;
2. 该设备禁止有机物、挥发性物质进入,禁止带胶样品;
3. 工艺前请做好必要的清洗,确保炉管的洁净同时也保证工艺的均匀性;
4. 预约请确认膜厚以及样品材料,数量信息;
5. 若要做4inch及以下片,请预先确认是否有相应工件盘;
6. 设备常规厚度氧化工艺温度为1100℃,不同厚度范围有不同温度区间及氧化方式,需要特定温度工艺或其他要求需额外说明;
7. 设备常规进出样品温度为550℃,升降温速率为4℃/min,有其他进出样品温度及升降温速率要求需额外说明;
收费标准:350元/小时