型号：Thermo Apreo 2S HiVas

制造厂商：Thermo Fisher

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：SEM广泛用于材料科学、电子用途:学、得微纳器件制备以及工艺表征等领域，内置的多探测器系统可以同时观察样品形貌，成分衬度，电位衬度，可应用于观察块体，薄膜，粉末等样品的微区形貌。

收费标准：600元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天

型号：Onto/IVS220

制造厂商：德龙激光

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：30分钟起约，超过30分钟后以15分钟计费周期； 多种对准标记量测，支持 Box-in-Box/Frame-in-Frame/Bar-in-Bar/AIM/ 游标类型等； 配备专业套刻补偿软件，支持多种光刻机 OVL 补值模型 (ASML/Nikon/Canon 等 )； 兼容 4-8 寸透明与不透明晶圆，厚度范围 200~2000μm。

收费标准：800元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天

型号：TEL/ACT8

制造厂商：TEL

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：样品要求：兼容 6/8 寸透明与非透明晶圆，厚度范围 300~1300μm；30分钟起约，超过30分钟以15分钟计费周期；涂料费用50元/片，客户自带涂胶材料不收费。

收费标准：1500元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天

型号：ASML/PAS5500/850C

制造厂商：ASML

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：样品要求： 兼容 6/8 英寸透明与非透明晶圆，样品背面清洗无脏污，完成匀胶工艺 ；30分钟起约，超过30分钟后以15分钟计费周期。

收费标准：8000元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天

型号：C81

制造厂商：沈阳和研

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：减薄、切割后表面particle清洗

收费标准：100 元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天

型号：EVG 520IS

制造厂商：EVG

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：？ 支持与对准设备联用，实现高精度键合 ？ 支持多种键合工艺：共晶键合、阳极键合、硅硅直接键合、 金属热压键合工艺等 ？ 兼容 4-8 英寸及透明 - 非透明晶圆

收费标准：1200元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天

型号：FC300

制造厂商：SET

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：通过将芯片反转并对准焊盘，将芯片的凸点与基板上的电极对接，利用加热、压力和焊料熔融形成可靠的电连接，主要用于实现芯片与基板的高精度电气连接。

收费标准：2000元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天

型号：Inducer-5081F

制造厂商：德龙激光

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：主要用来对玻璃、石英等脆性材料进行打孔加工，后续再使用相应的化学刻蚀液将通孔通道刻蚀成理想的通孔形状

收费标准：800元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天

型号：Inducer-5680

制造厂商：德龙激光

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：主要用于硅材料的切割处理，具有成品良率高，切割速度快，精度高，表面无损伤，切割过程无熔渣、粉尘等优势

收费标准：800元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天

型号：Thermo Fisher/Helios 5UC

制造厂商：Thermo Fisher

仪器原值：31.0 万元

分类: 分析仪器

主要功能：注意：扫描电镜请预约扫描电子显微镜SEM，请勿预约本设备 （预约时间请避免与双束电镜-SEM预约时间冲突）

收费标准：1600元/小时 

所属单位：甬江实验室

检测标准周期：天